ការត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាព និងសំណើម បន្ទប់ស្អាត
ការត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាព និងសំណើម, បន្ទប់ស្អាត,
,
សីតុណ្ហភាព និងសំណើមនៃបន្ទប់ស្អាតត្រូវបានកំណត់ជាចម្បងតាមតម្រូវការនៃដំណើរការ ប៉ុន្តែក្រោមលក្ខខណ្ឌដែលតម្រូវការដំណើរការត្រូវបានបំពេញ ការលួងលោមរបស់មនុស្សគួរតែត្រូវបានយកមកពិចារណា។ជាមួយនឹងការកើនឡើងនៃតម្រូវការអនាម័យខ្យល់ មាននិន្នាការដែលដំណើរការនេះមានតម្រូវការកាន់តែតឹងរ៉ឹងលើសីតុណ្ហភាព និងសំណើម។
ដោយសារភាពត្រឹមត្រូវនៃម៉ាស៊ីនកាន់តែល្អិតល្អន់ តម្រូវការសម្រាប់ជួរការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពកាន់តែតូចទៅៗ។ឧទាហរណ៍ នៅក្នុងដំណើរការបញ្ចេញពន្លឺនៃផលិតកម្មសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាទ្រង់ទ្រាយធំ ភាពខុសគ្នារវាងមេគុណពង្រីកកម្ដៅនៃកញ្ចក់ និងស៊ីលីកុន wafer ដោយសារតែសម្ភារៈនៃ diaphragm ត្រូវបានទាមទារឱ្យតូចជាង និងតូចជាង។ស៊ីលីកុន wafer ដែលមានអង្កត់ផ្ចិត 100μm នឹងបណ្តាលឱ្យមានការពង្រីកលីនេអ៊ែរ 0.24μm នៅពេលសីតុណ្ហភាពកើនឡើង 1 ដឺក្រេ។ដូច្នេះវាត្រូវតែមានសីតុណ្ហភាពថេរ ± 0.1 ដឺក្រេ។ទន្ទឹមនឹងនោះ តម្លៃសំណើមជាទូទៅត្រូវបានតម្រូវឱ្យមានកម្រិតទាបព្រោះបន្ទាប់ពីមនុស្សម្នាក់បែកញើសហើយផលិតផលនឹងត្រូវបំពុល ជាពិសេសសម្រាប់សិក្ខាសាលាដែលខ្លាចសូដ្យូម សិក្ខាសាលាស្អាតបែបនេះមិនគួរលើសពី ២៥ ដឺក្រេឡើយ។
សំណើមហួសប្រមាណបណ្តាលឱ្យមានបញ្ហាកាន់តែច្រើន។នៅពេលដែលសំណើមដែលទាក់ទងលើសពី 55% ការ condensation នឹងកើតឡើងនៅលើជញ្ជាំងនៃបំពង់ទឹកត្រជាក់។ប្រសិនបើវាកើតឡើងនៅក្នុងឧបករណ៍ឬសៀគ្វីដែលមានភាពជាក់លាក់វានឹងបង្កឱ្យមានគ្រោះថ្នាក់ផ្សេងៗ។វាងាយស្រួលក្នុងការច្រេះនៅពេលដែលសំណើមដែលទាក់ទងគឺ 50% ។លើសពីនេះ នៅពេលដែលសំណើមខ្ពស់ពេក ធូលីលើផ្ទៃនៃស៊ីលីកុន wafer នឹងត្រូវបានស្រូបយកដោយគីមីដោយម៉ូលេគុលទឹកក្នុងខ្យល់ទៅផ្ទៃដែលពិបាកដកចេញ។សំណើមដែលទាក់ទងកាន់តែខ្ពស់ វាកាន់តែពិបាកក្នុងការដកសារធាតុស្អិត ប៉ុន្តែនៅពេលដែលសំណើមដែលទាក់ទងគឺទាបជាង 30% ភាគល្អិតក៏ងាយស្រូបលើផ្ទៃដោយសារតែសកម្មភាពនៃកម្លាំងអេឡិចត្រូស្តាត និងមួយចំនួនធំនៃ semiconductor ។ ឧបករណ៍ងាយនឹងខូច។ជួរសីតុណ្ហភាពល្អបំផុតសម្រាប់ការផលិតស៊ីលីកុន wafer គឺ 35 ~ 45% ការត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាព និងសំណើមគឺជាលក្ខខណ្ឌសំខាន់សម្រាប់ផលិតកម្មសិក្ខាសាលាស្អាត ហើយសីតុណ្ហភាព និងសំណើមដែលទាក់ទងគឺជាលក្ខខណ្ឌត្រួតពិនិត្យបរិស្ថានដែលប្រើជាទូទៅក្នុងអំឡុងពេលប្រតិបត្តិការនៃសិក្ខាសាលាស្អាត។
សីតុណ្ហភាព និងសំណើមនៃបន្ទប់ស្អាតត្រូវបានកំណត់ជាចម្បងតាមតម្រូវការនៃដំណើរការ ប៉ុន្តែក្រោមលក្ខខណ្ឌដែលតម្រូវការដំណើរការត្រូវបានបំពេញ ការលួងលោមរបស់មនុស្សគួរតែត្រូវបានយកមកពិចារណា។ជាមួយនឹងការកើនឡើងនៃតម្រូវការអនាម័យខ្យល់ មាននិន្នាការដែលដំណើរការនេះមានតម្រូវការកាន់តែតឹងរ៉ឹងលើសីតុណ្ហភាព និងសំណើម។
